| 項目 | 仕様 |
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| 型式 | APNA-370(特殊仕様)+ CU-2 |
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| 測定原理 | クロスモデュレーション方式化学発光法 + 酸化触媒 |
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| 測定レンジ | 0 -100 / 200 / 500 / 1000 ppb |
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最小検出限界 (一定の条件下での代表値) | 1 ppb |
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| 応答時間(T90) | 5分以内(CU-2 サンプル導入口から) |
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| 表示成分 | NH3 / NOx 瞬時値 |
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| アナログ出力 | 4 - 20 mA DC または 0 - 1 V DC |
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| 通信インタフェース | RS - 232 C & TCP / IP |
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| サンプル流量 | 約2.0 L/min |
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| 測定時使用ガス | なし |
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| 校正ガス | N2ベースNOガスをSGGUにて希釈 |
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| 使用温度環境 | クリーンルームの温度環境 |
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| 使用湿度環境 | クリーンルームの湿度環境 |
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| 電源電圧 | AC100 - 120 V, AC200 - 240 V |
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| 装置構成(分析計/校正装置として) | APNA-370(特殊仕様) CU-2 SGGU-610 (ゼロガス精製用 特殊NH3スクラバ付) |
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・CU-2:コンバータユニット、SGGU-610:標準ガス発生器
・分析装置は当社の微量濃度ガス分析計APシリーズをもとに、高感度化のために検出器およびその周辺情報を変更しています。また本体サイズが異なる装置もあります。
・予期せぬ原因によりクリーンルーム内の汚染物質組成に変化が生じることがあります。それにより分析装置内の触媒酸化挙動に干渉影響が発生する場合、推奨される装置の仕様・構成が異なります。