電子デバイス産業クリーンルーム内の分子状汚染物質監視
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 型式 | APSA-370（特殊仕様）+ CU-1 |
| 測定原理 | 紫外線蛍光方式 + 酸化触媒 |
| 測定レンジ | 0 -10 / 20 / 50 / 100 ppb |
| 最小検出限界 （一定の条件下での代表値） | 0.1 ppb |
| 応答時間（T90） | 5分以内（CU-1 サンプル導入口から） |
| 表示成分 | H2S 瞬時値 |
| アナログ出力 | 4 - 20 mA DC または 0 - 1 V DC |
| 通信インタフェース | RS - 232 C または TCP / IP |
| サンプル流量 | 約0.8 L/min |
| 測定時使用ガス | なし |
| 校正ガス | N2ベースSO2ガスをSGGU-610にて希釈 |
| 使用温度環境 | クリーンルームの温度環境 |
| 使用湿度環境 | クリーンルームの湿度環境 |
| 電源電圧 | AC100 - 120 V, AC200 - 240 V |
| 装置構成（分析計/校正装置として） | APSA-370（特殊仕様） CU-1 SGGU-610 |
・CU-1：コンバータユニット、SGGU-610：標準ガス発生器
・分析装置は当社の微量濃度ガス分析計APシリーズをもとに、高感度化のために検出器およびその周辺情報を変更しています。また本体サイズが異なる装置もあります。
・予期せぬ原因によりクリーンルーム内の汚染物質組成に変化が生じることがあります。それにより分析装置内の触媒酸化挙動に干渉影響が発生する場合、推奨される装置の仕様・構成が異なります。
