CS-630FD

光ファイバ式薬液濃度モニタ

低濃度薬液の管理に最適。濃度変化をppmレベルで測定する薬液濃度モニタです。

中紫外の波長域を採用し、低濃度領域においても高精度な測定が可能。機能水などのモニタリングに最適で、濃度管理によって安定した低濃度薬液の供給をサポートします。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Wet Process Control

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

機能水などの低濃度薬液に最適
低濃度薬液の濃度変化をppmレベルでリアルタイム測定。低濃度NH₃や低濃度SC-1といった機能水の効率運用にも貢献します。

中紫外波長域で測定
従来の濃度計の波長域では測定が困難でも、中紫外領域によって測定できる成分があります※。※詳細はお問合せください

最大6薬液種（薬液またはレンジ）に対応
1台のモニターで最大6薬液種（薬液またはレンジ）の測定が可能です。測りたい薬液種やレンジを自由に指定できるので、測定ニーズに幅広く対応します。

レイアウトフリー
光源ユニットとモニター本体を分離設置が可能なので、薬液供給ユニットや洗浄装置の設置スペースに合わせた自由な配置が可能です

製品名	光ファイバ式薬液濃度モニタ
型式名	CS-630FD
測定原理	吸収分光法
濃度算出原理	多変量解析法
測定対象^※	低濃度SC-1溶液（アンモニア過酸化水素水溶液）
測定範囲・再現性精度^※	成分名	測定範囲（ppm）	再現性精度（ppm）	アナログ出力範囲（ppm）
	NH₃	0.0-30.0	±5.0	0.0-30.0
	H₂O₂	0.0-100.0	±5.0	0.0-100.0
測定条件	測定間隔：3 秒移動平均：16 回
計装エア（オペレーション、パージ兼用）	取合：外径4 mm クイック継ぎ手圧力：0.2 ±0.02 MPa
電源	100 ～ 240 V AC（Single-Phase）、50/60 Hz
消費電力	約85 VA（起動時の過渡的電流は除く）
通信取り合い	パラレルI/O、RS-232C、アナログ出力
外形寸法	（モニタ本体） 200 （W）× 313 （D）× 78 （H） mm（突起部除く）（光源ユニット） 290 （W）× 340 （D）× 100 （H） mm（突起部除く）（サンプルセル） 145 （W）× 157 （D）× 137 （H） mm（突起部除く）
質量	（モニタ本体）約 3.6 kg （光源ユニット）約 4.9 kg （サンプルセル）約 1.2 kg
設置温度	（モニタ本体、光源ユニット共通）20 ～ 30℃ （光ファイバ）20 ～ 35℃ （急激な室温変化なきこと、±1℃以内/1 時間）
設置相対湿度	（モニタ本体、光源ユニット共通）40 ～ 70 %RH（結露なきこと）
設置傾き角度	（モニタ本体、光源ユニット共通）±1°以内
光ファイバ	標準長さ2 m、最小曲げ半径100 mm