半導体製造プロセス

HORIBAは、1995年に薬液濃度モニタを市場へ提供して以来、独自技術により、多彩なウェットプロセス用の分析装置を開発してきました。そして、薬液濃度モニタにおいては、世界トップシェアを確立するなど、常に時代をリードしています。HORIBAは、半導体デバイスの進化に追従した高精度測定と高い安定性を備えた計測器のラインアップで、最先端からレガシープロセスまで、液体計測におけるトータルソリューションサプライヤーとしてお客様のご要望にお応えしています。   ※対応薬液の実績例はこちら

薬液モニタリングシステム

光ファイバー式 非接触型薬液濃度モニター

非接触型薬液濃度モニタ

光ファイバ式薬液濃度モニタ

光ファイバ式熱リン酸濃度モニタ

光ファイバ式薬液濃度モニタ

光ファイバ式薬液濃度モニタ

薬液濃度モニタ

薬液濃度モニタ

微量フッ酸濃度モニタ

微量サンプリングpHモニタ

半導体用パネルマウント　48/96 シリーズ

  • 形式
  • 測定範囲
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  • HF-960EMHF：0-50%, HCl：0-10%
  • HF-960MHF：0-5000ppm, HCl：0-500ppm, NH₃：0-10000ppm
  • HF-960HHF：0-10%, HCl：0-10%
  •  
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  • HZ-9600-500mg/L
    ※検出器により仕様異なる
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  • HD-960L0-20mg/L
    ※低流量モデル（薬液を排出させる場合）
  • HD-960LR0-20mg/L
    ※高流量モデル（薬液を循環させる場合）
  • HD-960L-M0-20mg/L

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