電子デバイス産業クリーンルーム内の分子状汚染物質監視
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定成分 | 大気中の炭化水素（CH4、NMHC、THC） |
| 測定レンジ | 0〜5/10/25/50 ppmC 0〜5/100 ppmCの間で最大レンジ比10倍5レンジ以内自動レンジ切替（オプション） 外部切替可（オプション） |
| 最小検出感度 | 5 ppmCレンジ：0.05 ppmC（2σ） 5 ppmCレンジ超：フルスケールの±0.5％（2σ） |
| 繰返し性 | フルスケールの±1.0％ |
| 直線性（指示誤差） | フルスケールの±2.0％ |
| ゼロドリフト | フルスケールの±1.0％/日 |
| スパンドリフト | フルスケールの±2.0％/日 |
| 周囲温度変化に対する安定性 | 周囲温度範囲内5℃変化でドリフトを満足する |
| 応答時間 | 装置入口より90%応答 60秒以下 |
| 干渉影響 | 水分（25℃ 80%）にて：±0.2 ppmC |
| 試料ガス採取流量 | 約0.9 L/min |
| 表示 | タッチパネル式LCD（バックライト付）有効桁数4桁､測定値､レンジ､アラ−ムなど |
| アラーム | 校正エラー、バッテリ−エラー、圧力エラー､精製器温度エラー、NMC温度エラー、電源断など |
| 入出力 | 0〜1 V（瞬時値および1時間平均値（積算値）または平均値の2系統） |
| 周囲温度・湿度 | 0〜40℃ 相対湿度 85％以下 |
| 外形寸法 | 430 (W) × 550 (D) × 221 (H) mm |
| 質量 | 約33 kg |
注記：上記仕様はJIS に準拠しています。ppmC は単位ではなく記号として示したものです。
外形寸法図・他（単位：mm）
