H-CLUE

カソードルミネッセンス(CL)測定装置

H-CLUEは、CLイメージングと分光分析に対応する、電子顕微鏡とのダイレクトカップリング機構を有する高感度CLアドオンソリューションです。H-CLUEは、広い波長範囲に対応するラマン分光装置などで使用実績がある光学コンポーネントを組み込み、遠紫外(FUV)から近赤外(NIR)までの広帯域スペクトルの高感度測定に対応します。

また、OptiLinkモジュールを集光ミラーと分光器の間に搭載することにより、偏光CL、RGB CL、角度分解CL(AR-CL)、時間分解CL(TR-CL)などのCLイメージング測定が可能になります。搭載するソフトウェアLabSpec 6は、ピークフィット、粒子解析、モザイク、多変量解析、多彩な3D表示など、多彩な機能でデータ解析をサポートします。

事業セグメント: 科学
製造会社: HORIBA, Ltd.HORIBA France SAS

ダイレクトカップリング高感度CLアドオン検出器の特長

  • 広域スペクトル・マルチ検出器CLイメージンおよび分光器
  • iHR320:1入力2出力ポート、7 mmスリット
  • PMT 185 - 900 nm、内蔵HV、CLLinkコントローラ
  • 電子冷却オープンエレクトロードCCD検出器(200 - 1100nm)
  • LabSpec 6ソフトウェアによる装置制御、測定、データ処理
  • 精密な位置決め調整が可能な電動調整機構
  • 通常の測定に加え、偏光CL、RGB CL、角度分解CL(AR-CL)、時間分解CL(TR-CL)の測定に対応
スペクトル範囲

UV - VIS - NIR
自由空間アクロマティック結合

ダイヤモンド回転式コレクションミラーパラボラアンテナ
ショート&ロングワーキングディスタンス
200mm リトラクタブルインターフェース真空下での微調整が可能な電動式
CL画像検出器標準:アンビエントPMT搭載のパンクロマチックおよびモノクロマチックCL
オプション:冷却型PMT、IGAモノチャンネル、フォトンカウンティングPMT、時間分解型PMT、RGBフィルター
CL分光器タイプiHR 320、iHR 550(焦点距離320〜550 mm)、最大3つのグレーティングタレット、2入口/2出口
可能なアップグレードPL、MicOSシステムからのアップグレード
電子ビーム制御CL-LINKによる複数データ取得処理(アナログ、パルスモード、SE)、マッピングラインスキャン、ポイント計測、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力制御
点測定、分光検出との同期、電子顕微鏡の外部スキャン入力による制御など

ソフトウェア

LabSpec 6™ による分光と画像処理
リモートコントローラーオプション
CLUE アクセサリー偏光、NDフィルター、カメラ、EMCCDなど
SEM アクセサリーLN2、Heクライオステージ、EBIC検出器、およびCLUEシリーズアドオン検出器を補完するその他の多くのアクセサリ
Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
Luminescent Defects in Synthetic CVD Diamond Films Localized by Cathodoluminescence Spectroscopy
The characterization of synthetic CVD diamond material by hyperspectral cathodoluminescence spectroscopy and imaging allows the detection and accurate location of the promising NV luminescent point defects for innovative solid-state quantum mechanical systems. In this work we performed CVD epitaxial growth on a pattern of micro-pillars etched on a diamond substrate. Cathodoluminescence (CL) analysis revealed that NV centres were successfully localized at the edges of the pillars.
The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
The Evaluation of Phosphor for White LEDs by CL Image
Phosphor plays a key role to obtain white light as for blue LED + phosphor and near ultraviolet LED + phosphors. In order to improve high bright white LEDs, it is necessary that the whole phosphor particle emits light homogeneously. When measuring with CL the phosphor used as white LED, the area which does not emit light in phosphor particle can be observed. CL system is used for evaluation of non-luminescent area to improve luminescent efficiency and characteristics.
Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
Defect Evaluation of GaN Epitaxial Wafer by CL
The threading dislocation occurs easily in GaN crystal grown on sapphire substrates. It is said that this is caused by the large lattice mismatch of sapphire and GaN. The crystal may seem to be uniform in the SEM image, but the dark spot such as the threading dislocation can be observed when measuring the CL intensity image at the wavelength (362nm) which corresponds to the band edge emission.

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