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在各種製造流程和研究實驗室中,HORIBA 質量流量控制器可提供精確的氣體測量和可靠的控制。
高階質量流量控制器,提供精準流量控制
適用於先進半導體製程的流量控制模組
通用質量流量控制器,適用於一般使用環境
高溫型質量流量控制器