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質量流量控制器

質量流量控制

HORIBA 提供各種用於質量流量控制的控制器。我們所有的質量流​​量控制產品都具有高精度和快速響應時間。氣體流量控制器系列包括壓差式和熱感式兩種類型的感測器以及各種通訊協定;類比、數位、DeviceNet™、PROFIBUS® 和 EtherCAT®。選擇高精度壓電閥或更傳統的電磁閥來控制製程氣體。

根據您的氣體或液體相容性要求,可提供全金屬密封件或 Viton™ 密封件。

提供調節比為 1000:1 的超寬範圍裝置。

當您需要靈活性時,可以使用多氣體(使用者可以更改氣體類型)和多範圍(使用者可以更改流量範圍)。這些多氣體多範圍流量控制器還可以減少您需要持有的庫存量。

在此處查看我們的 MFC 比較表

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