混合應用系統

HORIBA 是高性能汽化系統的領先供應商之一。 HORIBA 的液體蒸發器用於整個半導體製造過程，以安全高效地將氣相液體前輸送到使用點。無論液體需要在真空或大氣壓力下汽化，HORIBA 都可以提供汽化技術來滿足您的要求。 HORIBA 擁有 30 多年的汽化專業知識，採用直接噴射、混合噴射、和加熱汽化技術。

HORIBA的液體源汽化系統可以穩定、有效率地汽化液體材料。我們的蒸發器還可以連接到 HORIBA 的自動加注系統系列，以將蒸汽安全、連續地輸送到使用點。由於可以在不中斷製造過程的情況下更換液罐，因此不會造成停機。

HORIBA有經驗的一些液體材料

Acetic Acid	Benzene	B(OCH3)3	BTBAS	C6F6
Cyclohexane	Decyl-TMOS	DPM	DPMS	Ethanol
Ge(OCH3)4	GeCl4	H2O	HCD	HDFDA
HMDS	HMDSO	i-Octane	IPA	Me-Cyclohexane
Methanol	n-Octane	OMCTS	OMTS	P(OCH3)3
PO(OCH3)3	SAM24	Si(CH3)4	Si(OCH3)4	SiCH3Cl3
SiCl4	SiH(OCH3)3	SiHCl3	Ta(OC2H5)5	TBTDETa
TDEAHf	TDEAT	TDMAS	TDMAT	TEB
TEMAHf	TEMAZr	TEOS	TEPO	THF
Ti(O-iPr)4	TiCl4	TMCTS	Toluene	1,3-DMA