光譜橢圓光度術是一種表面敏感、非破壞性和非侵入式光學計量技術，廣泛應用於半導體產業，用於確定：
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25 年來，HORIBA 提供了各種具有獨特功能的光譜橢偏儀。它們用於高精度確定氧化物、氮化物、薄導電氧化物、化合物和有機半導體以及許多其他材料的薄膜厚度和光學特性。
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| Auto SE | UVISEL Plus | |
| Spectral range | 400-850nm | 190 nm-2200nm |
| Spot size | 8 spots automatically selectable | 3 spots manually selectable |
| Spot Vision | Yes | No |
| Angle of incidence | Fixed | Variable |
| Sample size | 8” | Up to 12” depending on the options |
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