HORIBA 的儀器可以偵測和分析光罩上的顆粒。對於有機和聚合物材料，拉曼用於分析光罩上檢測到的異物，例如尼龍、頭髮和化妝品。對於金屬材料，XGT-9000用於分析在光罩上檢測到的鎳、鋁、鉻等異物顆粒。
橢圓偏光法用於監測光遮罩上薄膜的厚度和光學常數（反射指數 (n) 和消光係數 (k)）。
光罩顆粒檢測系統
Spectroscopic Ellipsometer from FUV to NIR: 190 to 2100 nm
In-situ spectroscopic ellipsometer for real-time thin film monitoring
Discover a Whole New World of Information with Glow Discharge Optical Emission Spectrometer
AFM-Raman for Physical and Chemical imaging
Photoluminescence Microspectrometer
X-ray Analytical Microscope (Micro-XRF)
X-ray Analytical Microscope
with a Super Large Chamber
Add Spectroscopy to ANY Microscope
Cathodoluminescence Solutions for Electron Microscopy
Centrifugal Nanoparticle Analyzer
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