HORIBA 開發了最小的質譜儀系統之一。小型的尺寸是透過微型四極濾質器陣列的專利設計實現的。此陣列提供與傳統質譜儀相似或更高的靈敏度，但體積僅為傳統質譜儀的一半以下。該系統能夠在比傳統系統高得多的壓力下運行，因此減少了對額外壓差泵設備的需求。 RGA 可用作在加工前檢測真空室狀況的可靠工具；例如檢測真空室內的濕度。
我們還提供屢獲殊榮的電容壓力計，該壓力計結構小，全金屬，具有自動溫度調節功能。
HORIBA 蒸氣濃度監測儀可靠且採用非色散紅外線吸收光度測量技術 (NDIR) 提供高性能。
Quadrupole Mass Analyzer
Vapor Concentration Monitor
High-grade type Gas Monitor for Chamber Cleaning End Point Monitoring
Capacitance Manometer
Vapor Concentration Controller
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