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在半導體工廠中,從產品品質控制的角度來看,管理高純度氧氣和氮氣等大宗氣體中的雜質至關重要。 HORIBA 產品具有超高靈敏度和高精度連續測量能力,不僅應用於液化氣儲罐,還用於管理空氣分離裝置中高純度氣體的微量雜質(CO、CO2、CH4)。
微量氣體監測儀