POU減排

減排設備種類繁多，包括燃燒式、等離子式、加熱式、乾式和催化系統。終端減排（POU）通常連接多個腔室，用於不同的製程（例如乾式蝕刻、化學氣相沉積），因此需要提高減排效率。 EPA430協定中所述的線上式INDIR: IR-400系列和Q-Mass: RGA可用於測量減排效率，幫助客戶提升測量和偵測能力。