半導體製造廠屋頂上安裝有多種類型的廢氣處理設備，包括燃燒式、濕式、乾式和催化式等。廢氣處理設備（洗滌塔）的作用至關重要。 此外，高效去除高全球暖化潛值（GWP）的全氟化合物（PFC）氣體（例如CF₄和SF₆）以及建立監測體係也至關重要。 HORIBA 提供從終端減排到屋頂洗滌塔再到大氣排放的全氟化合物氣體監測解決方案，有助於加強對氯化氫、氟、氨等氣體的監測和檢測。