流體控制

利用熱壓和差壓等測量原理，Criterion 可以高精度地測量從腐蝕性氣體到超高純度液體的各種流體。

根據液體材料的性質和成分、應用和設備設計，選擇最佳的汽化方法，即可實現穩定的供應。

作為隔膜真空計，VG 可確保穩定的壓力測量和可重複性，有助於製程優化、提高設備正常運作時間和提高產量。

QL的尺寸設計使其安裝更節省空間。透過對真空室殘餘氣體的分析，有助於製程條件管理，並可用作製程監控器。