紅外線測量

我們的氣體分析技術利用紅外線吸收來實現穩定的濃度測量，有助於優化腔室清潔時間並減少清潔氣體消耗——這對於減少溫室氣體排放至關重要(GHG)。

HORIBA獨家的紅外線雷射吸收調整的技術“IRLAM™,” 可實現氣體即時、製程內監測。能夠高靈敏度、高速地測量ppb級低濃度氣體。

IT-270 採用非接觸式高精度紅外線技術測量物體表面溫度。