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光罩偵測

光罩模版檢查/顆粒去除

快速測量並檢查光罩和薄膜上的異物

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 應對曝光階段不斷增加的檢查需求

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Reticle / mask particle remover

RP-1

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Next-generation inspection platform that meets diverse needs

PD Xpadion

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