HORIBA Vaporization

Vaporization of Critical Process Chemistries

先进的工艺正在扩展关键化学汽化技术的边界

临界化学过程的汽化不是一件容易的工作。首先,先进的工艺在不断变化,并使用数据可能有限的新化学。在某些情况下,研究人员可能需要汽化设备来处理他们不愿透露身份的化学物质。一旦确定了化学性质,平衡液体流量、载气流量、上下游压力和材料相容性的工作就可以开始了。通常需要载气,在工艺过程中必须仔细计算和控制载气流量。汽化器的温度也是关键-平衡所需的温度和潜在的热对液体的损害。正确的蒸发方法的确定导致了对配套仪器-气体/液体流量控制器/仪表、蒸发喷嘴和温度控制器的仔细选择和规范。这不是一个简单的过程,但堀场是一个全球领导者的过程。

Vaporization Carrier Gas
Direct Vaporization

HORIBA的蒸发溶液范围从分数克/分钟到25克/分钟。
作为解决方案提供商,我们不仅可以推荐我们的VC和MV系列的汽化组件,我们还可以提供我们的LSC / LU等完全集成的系统。通过使用我们的世界领先的气体和液体质量流量控制器和仪表与我们的蒸发器,用户可以确保准确和可重复的关键过程化学汽化。

Triple Point

面的图表显示了物质的不同可能状态。从液体变成气态有两种方法。第一种方法是在保持压力稳定的同时提高温度,就像折线箭头所示 broken line。 这种方法在日常设置中经常使用,例如将水煮沸并将其转化为蒸汽。然而,加热液体需要时间,这使得快速蒸发变得困难。另一方面,也可以提前加热液体,然后突然降低压力,如实线箭头所示实线Solid line。喷射器汽化段的压力可以瞬间降低,这使得液体源瞬间汽化成为可能。

蒸发原理

注射方法

以下清单涵盖了蒸发液体源并将其供应到工艺室的主要步骤。

  1. 测量液源的流量,由阀门反馈控制液量。

  2. 液体瞬间完全蒸发了。

  3. 气体被释放出来而不被允许凝结成液体形式。

使用注射方法的蒸发系统依次执行上面列出的步骤1、2和3。VC系列单位测量液体源的液体流量使用质量流量计,不使用载气。MI/MV系列单元使用质量流量计进行测量,并具有质量流量控制器,引入载气进入单元以蒸发液体源。

气液混合法

这种蒸发方法在MI/MV系列中使用。由于载气在喷油器内部喷嘴前方的压力较高,因此可以有效地加热载气。液源和被加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合,当它们通过喷嘴时压力降低,使混合物蒸发。
汽化效率高于传统汽化方法。采用这种方法可以产生更大的流量,降低生成温度。

Gas and Liquid Mixture Method

不同液体的最佳蒸发方法

在半导体器件中,仍然需要更大的集成度和细节,各种各样的液体源被用来强调所创造的薄膜的特性。HORIBA STEC提供的汽化系统经过优化,最大限度地利用了当今尖端工艺中使用的各种液体源的特性。

相关产品

详情 MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

详情 LSC 系列

紧凑型加热汽化

详情 VC 系列

直接液体注入系统

详情 LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

详情 LU 系列

自动供液系统

详情 XF-100 系列

数字式液体质量流量计

详情 LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器