功能玻璃生产中干法涂层工艺的等离子体发射控制和工艺气体检测

HORIBA 是世界上最大的气体和液体质量流量控制器制造商之一,拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。

HORIBA 可以为您的涂层工艺生产线提供稳定的控制,如化学气相沉积 (CVD),原子层沉积 (ALD),金属有机化学气相沉积 (MOCVD), PVD (物理气相沉积),等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 和金刚石沉积或金刚石涂层 (DLC)。我们的产品提供全面的流体控制和过程监控,以提高产量,增加吞吐量,并为您的涂层过程提高效。

HORIBA 拥有世界上最小的四极质谱仪之一,这使得它能够在比传统设备更高的压力(1pa)下工作。这就减少了对额外泵送设备的需求。

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