Smart SE

SmartSE-HORIBA

智能型多功能椭偏仪

Smart SE,  智能型多功能椭偏仪

 

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到高端研发,满足不同层次和需求的客户。

Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。

Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。

事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS
  • 快速、准确
  • 易于升级
  • 光斑可视化
标准配置
光谱范围:450nm to 1000nm
光谱分辨率优于3nm
光源卤素灯和蓝光LED
测试时间小于1秒到10秒
光斑尺寸

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

入射角450 to 900 ,步径50
样品尺寸200mm以内
样品准直手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角
外形尺寸100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
性能
空气对射精度Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
厚度准确性:0.04%
厚度重复性:±0.02%

 

 

可选附件

  • 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010
  • 全自动样品台:直径200mm和300mm可选
  • 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
  • 冷热台
  • 液体样品池和电化学反应池
  • 十字星自准直系统
电气设备中的电池评估
电气设备中的电池评估

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