Smart SE

SmartSE-HORIBA

智能型多功能椭偏仪

Smart SE,  智能型多功能椭偏仪

 

Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)。

Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台,从简化的工作流程到高端研发,满足不同层次和需求的客户。

Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统,准确定位分析位置及区域,7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵,用于复杂样本的研究。

Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力,可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域,包括微电子,光伏,显示,光学涂料,表面处理和有机化合物等。

事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS
  • 快速、准确
  • 易于升级
  • 光斑可视化
标准配置
光谱范围:450nm to 1000nm
光谱分辨率优于3nm
光源卤素灯和蓝光LED
测试时间小于1秒到10秒
光斑尺寸

75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

500µm*500µm

入射角450 to 900 ,步径50
样品尺寸200mm以内
样品准直手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角
外形尺寸100cm * 46cm * 23cm(W*H*D)
性能
空气对射精度Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20
厚度准确性:0.04%
厚度重复性:±0.02%

 

 

可选附件

  • 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010
  • 全自动样品台:直径200mm和300mm可选
  • 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测
  • 冷热台
  • 液体样品池和电化学反应池
  • 十字星自准直系统
电气设备中的电池评估
电气设备中的电池评估

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

More Auto SE

一键式全自动快速椭偏仪

More EMGA-Expert

氧/氮/氢分析仪

More EMGA-Pro

氧/氮/氢分析仪

More EMIA-Pro

碳硫分析仪

More EMIA-Step

碳/硫分析仪

More GD-OES 软件

Quantum 和Image

More GD-Profiler 2™辉光放电光谱仪

用辉光放电光谱仪去发现一个崭新的信息世界

More LabRAM HR Evolution

Confocal Raman Microscope

More LabRAM Soleil

高分辨超灵敏智能拉曼成像仪

More Smart SE

智能型多功能椭偏仪

More UVISEL 2 VUV

真空紫外椭偏仪

More XploRA™ PLUS

拉曼光谱-共焦拉曼光谱仪

More 等离子体分析飞行时间质谱仪PP-TOFMS

快速、灵敏、高分辨的深度剖析技术

More Auto SE

一键式全自动快速椭偏仪

More Auto Soft

Auto-Soft用户导向的分析界面-用于Auto SE和Smart SE

More DeltaPsi2软件

功能齐全的椭圆偏振光谱软件

More DLC

自动 DLC 涂层分析

More EasyImage

优化的分析流程

More LEM Series

基于实时激光干涉测量的摄像头终点监测

More MESA-50

X 射线荧光分析仪

More MESA-50K

X射线荧光分析仪

More Methods

调用设置,采集过程自动化

More MultiPoints

多位置自动获取拉曼光谱

More MVAPlus

适用于所有拉曼成像的多变量分析应用程序

More Particle Finder

测试、识别和分类粒子

More PP-TOFMS软件

符合人体工程学的软件,兼具数据采集,数据处理和技术支持

More Script and ActiveX

使用VBS进行定制化

More Si Stress

自动硅应力分析

More Smart SE

智能型多功能椭偏仪

More SmartSampling

将拉曼成像从几小时变成几分钟

More UVISEL 2 VUV

真空紫外椭偏仪

More UVISEL Plus In-Situ

在线监控椭偏仪

More XGT-9000

微区X射线荧光分析仪

More XGT-9000SL

微区X射线荧光分析仪超大样品仓型

More Auto SE

一键式全自动快速椭偏仪

More Smart SE

智能型多功能椭偏仪

More UVISEL 2 VUV

真空紫外椭偏仪

More UVISEL Plus In-Situ

在线监控椭偏仪