XGT-9000

微区X射线荧光分析仪

速度和灵活性兼备是微区 X 射线荧光光谱的发展方向

   

  • <15µm 超高强度X射线头,兼具灵敏度和空间分辨率
  • 高分辨相机和多照明模式成像
  • 双检测器!荧光X射线检测器和透射X射线检测器
  • 轻元素检测器使元素检测范围下延C元素

   

事业部: 科学仪器
制造商: HORIBA, Ltd.

XGT-9000是如何保证高性能下的速度和灵活性

激发系统

XGT-9000 以其精心设计的激发系统保证卓越性能和灵活性,X射线发生器具有高达 50 kV 和 1000 µA 的高输出。 此外可以通过我们多样化的X射线头提供多种尺寸(10μm - 1.2mm)的激发用初级 X 射线,其中就包括超高强度X射线头(probe),以实现快速测量。

光学图像

抓取清晰的图像对于微区XRF至关重要,XGT-9000 提供高分辨率相机,可以获取整个样品及其细节显微镜水平的图像。同时,多种照明模式保证图像的清晰度,即便是透明或有较强反射的样品。

样品仓

XGT-9000 样品仓可容纳各种样品,包括微型碎片、印刷电路板、硬币、薄片、粉末、液体、晶圆,并根据需求提供各种样品架,此外最多可以选择 4 种测量环境来提高灵敏度。

检测器

XGT 9000提供透射和荧光X射线双探测器,透射X射线检测器使用户能够检测样品的内部缺陷和异物,而荧光X射线检测器(配置轻元素检测器)检测范围可从C到Am。

软件套件

功能强大的XGT 9000 软件,包括全面完整的基本测试功能,如单点测试、多点测试、线分析和Mapping测试等。除了基本测试功能外,还可以在软件套件中添加高级模块,以提供更丰富的用户体验。

  • 多层FPM模块可以进行厚度测试,有无标样都可以进行
  • RoHS检测模块用于RoHS要求的有害元素筛查
  • 队列模块自动进行多区域自动测试
  • 颗粒搜寻模块可以进行颗粒分析以及原位分析
  • LabSpec Link模块,将数据导入到LabSpec 6以进行多变量分析

 应用案例

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型号XGT-9000XGT-9000SL
基本信息
仪器微区X射线荧光分析仪
样品类型固体、液体、颗粒
检测元素轻元素检测器:C* – Am
(常规检测器:F – Am)
样品仓尺寸450(W) x 500(D) x 80(H)1030(W) x 950(D) x 500(H)
最大样品尺寸300(W) x 250(D) x 80(H)500(W) x 500(D) x 500(H)
样品最大质量1 kg10 kg
光学观察两个带物镜的高分辨率相机
光学设计垂直同轴 X 射线和光学观察
样品照明/观察顶部、底部和侧向照明/明场和暗场
X-射线管
功率50 W
电压最高50 kV
电流最大1 mA
靶材Rh
X射线光光学系统
X射线头数量最多配置四个
光谱优化初级X-射线滤光片  5个位置
检测器
荧光X-射线检测器硅漂移检测器(SDD)
透射X射线检测器NaI(Tl)
扫描分析
扫描范围100 mm x 100 mm350 mm x 350 mm
步进尺寸2 mm4 mm
Operating mode
样品环境全真空/局部真空/大气环境/He吹扫(选配)

局部真空/大气环境/He吹扫(选配)*He吹扫条件对于两个检测器都检测到C和F是必要的。

Dimensions (unit: mm)

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