XGT-9000SL

超大样品室微区 X 射线荧光分析仪

保证安全的条件下对大尺寸样品进行微观分析

超大样品仓空间: 1030 mm x 950 mm x 500 mm [宽x深x高]
大扫描区域：高达350 mm x 350 mm
X 射线辐射防护（符合IEC61010-1/JAIMAS0101-2001）
超高强度X射线探头的光斑尺寸小于15µm，兼具高灵敏度和高空间分辨率
双检测器配置，同时检测荧光 X 射线和透射 X 射线
可搭载 He 吹扫模块，检测元素范围下探至 C 元素

事业部: 科学仪器

产品分类: X-射线荧光光谱仪

制造商: HORIBA, Ltd.

彻底改变大样品分析的现状，扩展应用范围

XGT-9000SL 系列的超大样品室设计，其容积尺寸为：1030 mm（宽）x 950 mm（深）x 500 mm（高），同时，它还配置了 500 mm x 500 mm 大样品台。这一组合为研究人员无损元素分析大型样品，如：绘画、大型印刷电路和制动盘等提供了便利。此外，研究人员可以在同一平台上放置多个小尺寸样品，实现顺序分析，大大提升了工作效率与灵活性。

荧光X射线和透射X射线双探测器

XGT-9000SL 系列同时配置两种类型的探测器。一种是荧光 X 射线探测器，它提供样品的元素分布信息；另一种是透射 X 射线探测器，它提供样品的内部结构信息。XGT-9000SL 可以同时获得同一区域两种类型的图像。这一功能特别有助于更好地了解电子产品、含有夹杂物的宝石和生物样品。

印刷电路板的元素分布图像和透射 X 射线图像的同时成像
（左）叠加的元素分布图像显示 IC 芯片里有异物。（右）透射X射线图像显示 IC 芯片中有许多空隙。

X 射线屏蔽防护室确保用户免受 X 射线辐射伤害

XGT-9000SL 具有强大的 X 射线屏蔽功能，可防止 X 射线辐射（符合 IEC-61010-1/JAIMAS0101-2001标准）。通过透明防护罩（1），研究人员可以在测量过程中轻松地观察和监测样品室内的样品，无需担心安全问题。该系统还包括位于前面板上的 X 射线辐射指示器（2），当 X 射线处于活动状态时起到提醒警示的作用。此外，XGT-9000SL 在样品室门上配备了联锁装置（3），防止在系统运行时用户意外打开舱门。

多重安全功能保护珍贵样品免受碰撞风险

多重安全功能，确保珍贵样品得到 100% 的保护:

样品台位置计算：软件可以根据样品高度的输入值计算安全初始位置。这意味着样品台将向上移动并停在合适的位置，从而最大限度降低与光学器件或其他敏感部件发生意外碰撞的风险。
激光传感器：即使输入了不准确的样品高度，该系统也可以通过激光传感器检测样品的位置，并在样品与光学器件接触之前停止样品台上升。
样品台锁：XGT-9000SL 系列配备了精密的样品台控制器，该控制器具有安全锁功能。即使操作人员以错误的方式操作样品台，样品台也不会超出指定的安全位置。

灵活且用户友好的软件界面

XGT-9000SL 系列软件具有高度灵活和用户友好的界面。数据树、光学图像、光谱结果、元素周期表和扫描成像结果皆可一目了然。用户可以自定义屏幕上的布局，并将结果显示在多个显视器上，方便研究团队进行数据分析。

除了标准的软件功能外，研究人员还可以在软件包中添加高级模块，体验更全面的各项高级功能。

多层膜 FPM 检测模块，用于带/不带标准样品的膜厚测量
用于 RoHS 筛选的 RoHS 检测模块
用于无人值守模式下自动多重测量的队列检测模块
用于颗粒分析和共定位分析的颗粒检查模块
LabSpec Link模块，用于将数据导入到 LabSpec 6 行多变量分析

应用案例

基本信息
型号	XGT-9000SL
型号	XGT-9000SL Pro	XGT-9000SL C
名称	超大样品室微区X射线荧光分析仪
原理	能量色散X射线荧光光谱法
可检测元素	F (9)* - Am (95)	C (6)* - Am (95)
样品室内部尺寸	1030 mm (宽) x 950 mm (深) x 500 mm (高)
最大样品质量	10 kg
最大扫描区域	在最大可扫描样品 500 mm (W) x 500 mm (D) 上最大 350 mm x 350 mm
样品观察
光学图像观察	两个高分辨率相机
全景图像细节图像	5M像素，视场：350 mm x 350 mm 5M像素，视场：2.5 mm x 2.5 mm
光路设计	同轴的 X 射线和光学观察系统垂直检测
样品照明/观察	顶部、底部和侧面照明/明场和暗场
X 射线发生器
功率	最大50 W
管电压	最大50 kV
管电流	最大 1 mA
靶材	铑(Rh)
X 射线导管（探头）
X 射线探头束斑尺寸选择	可以提供各种探头组合（例如：可选择15 μm 超高强度探头和100 μm 超高强度探头组合）
检测器
荧光 X 射线检测器	无液氮制冷硅漂移检测器（SDD）
透射 X 射线检测器	NaI (Tl)
工作模式
样品检测环境	局部真空大气 He吹扫（可选）*	局部真空大气 He吹扫（可选）*
仪器外形尺寸（主机）
外形尺寸	1090 mm (宽) x 1380 mm (深) x 1820 mm (高)
重量	约 550 kg

*He 吹扫条件是 XGT-9000SL Pro 检测低至氟或 XGT-9000 SL C 检测低至碳所必需的。

颜料是了解艺术品历史背景的重要线索。本应用介绍了使用 XGT-9000SL 对文森特·梵高的油画“蓟花花瓶”进行元素成像。结果表明这幅画上使用的颜料的元素组成与之前报道的梵高使用的不同，表明这幅画只是艺术品的复制品。

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Non-destructive failure analysis of a commercial PEMFC using a micro-XRF with a super large chamber

We introduce non-destructive failure analysis on a large membrane electrode assembly (MEA) from a commercial PEMFC stack using a HORIBA XGT-9000SL, a micro-XRF with an extra-large chamber capacity. Thanks to the chamber capacity, we successfully performed non-destructive elemental imaging on a defective area without cutting the sample, and we found unexpected distributions of Fe, Ni, Mn and Cr within the defective area, and that the elements are present in the MEA as a result of possible degradation of the bipolar plate.

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