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气体监测仪

HORIBA的制程监控设备通过向各环节设备提供实时反馈控制,可有效提升产品质量、预防缺陷发生,同时有助于提高整体生产效率。

IR-300
IR-300

蒸汽浓度监测仪

IR-400
IR-400

用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

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