椭圆偏振光谱仪是一种灵敏度高、无损且非侵入性的光学计量技术，广泛应用于半导体行业，用于确定：
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25 年来，HORIBA 一直提供具备独特功能的椭圆偏振光谱仪。这些仪器能够以极高的精度测定氧化物、氮化物、导电氧化物薄膜、化合物与有机半导体等多种材料的薄膜厚度和光学特性。
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| UVISEL Plus | |
| 光谱范围 | 190 nm-2200nm |
| 光斑尺寸 | 3 个点位可手动选择 |
| 点视场 | 否 |
| 入射角 | 可变 |
| 样品尺寸 | 最高可达 12 英寸（视配置选项而定） |
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