原子力显微镜

原子力显微镜（AFM）是一种非破坏性扫描技术，通过末端带有的尖锐探针的悬臂在样品表面进行扫描。AFM 是半导体制造工艺步骤纳米尺度表征的首选工具。AFM 提供多种工作模式以实现：

HORIBA 推出全球首款 100%全自动系统（采用 AIST 技术），可研究传统及最先进半导体材料的形貌、电学和机械性能。该系统专为无缝集成光学光谱技术（包括扫描近场光学显微镜、拉曼光谱、光致发光及针尖增强拉曼/表面增强拉曼技术）而特殊设计。

	SmartSPM
自动调节系统	完全电动化且由软件控制的激光/悬臂梁与光电二极管对准系统
便于升级的光学接入设计	Possible coupling to optical spectroscopies可实现与光学光谱学的耦合 （光致发光与拉曼）
样品扫描范围	100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)
噪声	电容传感器开启状态下，XY 方向 200 Hz 带宽内均方根值<0.1 nm 电容传感器关闭状态下，XY 方向 100 Hz 带宽内均方根值<0.02 nm 电容传感器关闭状态下，Z 方向 1000 Hz 带宽内均方根值<0.04 nm