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HORIBA 半导体解决方案
HORIBA 通过将自主研发的光谱椭偏仪与全自动测量技术相结合,实现了薄膜测量领域的突破性创新。由此诞生的全自动薄膜测量系统,不仅支持多点测量与图谱绘制功能,更配备自动传输模块。该系统能够对各种晶圆衬底上的不同薄膜及多层膜进行快速、精准的测量,精确测定其厚度与光学常数。
从杂质污染分析到缺陷检测与工艺控制,HORIBA提供一系列广泛适用于多种半导体材料的分析仪器,涵盖硅、锗、砷化镓、碳化硅、氮化镓等材料。我们稳定可靠的拉曼光谱仪、X射线荧光显微镜、光谱椭偏仪、元素分析仪及粒度分析仪,将助力您的半导体工艺迈向更高水平。欢迎了解HORIBA的技术与应用专家如何协助您保持卓越的生产效能。
如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。