流体控制

利用热学原理和差压等测量原理，Criterion 可高精度测量从腐蚀性气体到超高纯度液体等多种流体。

通过根据液体材料的性质和成分、应用以及设备设计选择最优的汽化方式，实现稳定供给。

作为一种隔膜压力计，VG 可确保稳定的压力测量和可重复性，有助于工艺优化、提高设备可用率并提升良率。

QL 的紧凑设计可节省安装空间。它通过对真空室的残余气体分析来辅助制程状态管理，并可作为制程监测仪使用。