红外测量

红外测量技术具有多种应用方式，既可检测固体物体反射的红外辐射，也可以用于检测气体中的吸收。这些方法使用户能够获取有特定物体的温度和状态信息；在吸收法中，还可以测量气相中物质的浓度。该技术以高精度和高稳定性为特点，广泛应用于半导体等多元化领域。

非色散红外吸收光谱（NDIR）

该气体分析技术利用红外吸收实现稳定的浓度测量，有助于优化腔体清洗时间并减少清洗气体消耗——这是减少温室气体（GHG）排放的重要考量。

HORIBA 专有的基于红外激光吸收调制的“IRLAM™”能够实现气体的实时、在线过程监测。它能对低至 ppb 级别的低浓度进行高灵敏度、高速测量。

IT-270 使用非接触高精度红外技术测量物体表面温度。