UVISEL Ellipsomètre Spectroscopique en Ligne

Vue d'ensemble

Ellipsomètre spectroscopique en ligne pour les systèmes roll to roll

L’ellipsomètre spectroscopique UVISEL est un instrument pour la mesure en ligne des couches minces. Il permet des mesures rapides acquises toutes les 50ms pour le contrôle de l’uniformité de la couche du film déroulant. La conception des têtes ellipsométriques de l’UVISEL permet une intégration simple dans les systèmes roll to roll et la plateforme logicielle DeltaPsi2 offre des fonctionnalités avancées de communication pour la production. Le logiciel a été conçu pour faciliter le pilotage de l’instrument par un opérateur. Des recettes automatiques lancent la mesure et l’analyse pour suivre en temps réel l’évolution de l’épaisseur du film déposé et des propriétés optiques. L’UVISEL garantit une productivité élevée, et des algorithmes spécifiques ont été développés pour garantir des données fiables et robustes. L’ellipsomètre spectroscopique en ligne UVISEL garantit un contrôle en ligne de qualité pour les films minces, idéal pour les panneaux solaires souples et l’affichage flexible.

Fonctions

  • Mesure ultra rapide jusqu’à 50 ms / point
  • Pilotage simple
  • Données robustes
  • Intégration simple et possibilité de procédés multi rouleaux

Fabriqué par HORIBA Scientific

Caractéristiques

  • In-line measurement of film thickness and optical constants (n,k):

    • Substrate materials: PET, PEN, PI, PC, PA, TAC…
    • Thin film materials:

      • Thin metal films: Ag, Al, Cr, Cu
      • Transparent electrodes: ITO, AZO, i:ZnO
      • Polymers, organic LED films
      • Dielectrics: Al2O3, SiN, SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5

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