Semiconductor Page Heading

等離子發射控制

HORIBA 等離子體發射控制器可為濺鍍製程 (PVD) 提供優異的等離子體控制。

濺鍍製程中反應氣體流量的快速回饋控制有助於提高產品品質並實現更高的生產率。這是透過監測濺鍍過程中產生的等離子體和電源電壓來實現的。

HORIBA 等離子體發射控制器可以透過控制過渡區域並優化分佈來加速沉積過程。

留言諮詢

如您有任何疑問,请在此留下詳細需求或問題,我們將竭誠您服務。

* 這些欄位為必填項目。

Corporate