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在製程開始的前,中,後 監控Chamber情況
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用於檢測Chamber中的異常情況，檢查製程開始之前和製程中的狀況，並預測維護時間
產品型錄
Capacitance Manometer
VG-200S
Vapor Concentration Monitor
IR-300
Gas Monitor
IR-400
Quadrupole Mass Analyzer
MICROPOLE System QL Series
Optical Emission Spectroscopy
EV2.0
Infrared Thermometer
IT-270
IT-480
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