HORIBA 收购韩国 EtaMax:拓展面向新一代功率半导体的晶圆检测系统业务

近日,HORIBA 集团旗下韩国子公司 HORIBA STEC KOREA, LTD.(位于韩国龙仁市),完成了对韩国 EtaMax Co., Ltd. 公司(位于韩国水原市,以下简称"EtaMax")的收购。股权转让已于2025年4月3日完成交割。

HORIBA STEC KOREA, LTD. 是 HORIBA 集团旗下负责半导体业务的韩国子公司,韩国 EtaMax 是半导体市场晶圆检测系统开发商、制造商及销售商。本次收购,充分彰显了 HORIBA 集团扩充晶圆检测系统产品线并提升综合解决方案能力的决心,必将有力提升化合物半导体晶圆制造的良品率与品质管理水平。

收购背景及意义

随着全球电动汽车和人工智能发展,数据中心的需求激增,被称为"新一代功率半导体"的化合物半导体应用正在加速普及。尽管这类半导体具备高性能与高耐久性优势,但晶圆缺陷导致的制造良率损失仍是行业痛点,市场对高精度、高效率检测设备的需求日益迫切。

为实现 HORIBA "以先进材料和半导体领域的创新解决方案引领市场,推动社会可持续发展"的愿景,强化化合物半导体晶圆检测系统的研发能力,提供优化半导体制造全流程的综合性分析解决方案至关重要。为此,HORIBA 制定了一系列计划,收购 EtaMax 则是其中之一。

本次收购的 EtaMax 专注于开发基于光致发光(*1)技术的晶圆检测系统,其技术在化合物半导体晶圆均匀性评估、微观缺陷判定等场景中具有显著优势。通过将 HORIBA 多年自主研发的拉曼光谱(*2)、椭圆偏振光谱(*3)等光谱分析技术,与 EtaMax 的软件技术及化合物半导体晶圆缺陷检测经验深度融合,HORIBA 可充分发挥全球网络优势,推动业务扩张。同时,技术融合将显著缩短新产品研发周期,提升系统解决方案能力,进而帮助客户大幅提升良品率与品质管理水平。

发展目标

在 HORIBA 集团“中长期经营计划 MLMAP 2028”重点布局的"材料与半导体"领域,HORIBA 将持续创造新价值、研发新产品,以满足半导体制造流程中客户多样化的分析与检测需求。我们相信,在此次战略整合的协同效应下,​HORIBA集团将会在半导体材料分析领域持续点燃澎湃动能,为全球产业升级照亮无限可能的未来!​

EtaMax公司概况  

公司名称 

EtaMax

成立时间 

2008年

所在地

韩国京畿道水原市劝善区产业路155番街280-17

(邮编16648)      

法定代表人 

代表理事 Jung Hyundon(정현돈)  

员工人数 

40名(截至2024年12月31日)  

主营业务 

晶圆检测系统的研发、制造与销售 

HORIBA STEC KOREA 公司概况  

公司名称 

HORIBA STEC KOREA, Ltd.

成立时间 

1994年

所在地

韩国京畿道龙仁市器兴区数码谷路98(邮编16878)  

法定代表人 

CEO/President Teruhiro Tamura   

员工人数 

112名(截至2024年12月31日)  

主营业务 

气体/液体流量控制系统的生产、销售及售后服务 

*1 光致发光光谱技术:通过特定波长光照射样品,测量其释放的荧光,获取缺陷及杂质等信息的检测方法 
*2 拉曼光谱技术:通过分析样本受光照射后产生的拉曼散射光,评估分子结构与特性的分析方法 
*3 椭圆偏振光谱技术:通过测量入射光与反射光的偏振态变化,测定样品厚度与光学常数等的分析方法 

 

(左) Jung Hyundon, EtaMax Co., Ltd. CEO (右)Dan Horiba, HORIBA,Ltd., 董事兼 HORIBA STEC, Co., Ltd. 总裁