用CL方法评估GaN外延片的缺陷
在蓝宝石衬底上生长的GaN晶体极易出现线位错。据说这是由蓝宝石和GaN的大晶格错配引起的。在SEM图像中，晶体看上去是均一的。但在测量与带边沿发射相对应的波长（362nm）处的CL光强成像时，可以观察到暗斑，如线位错。
F-CLUE
紧凑型高光谱阴极荧光
F-CLUE采用光纤耦合方案，为阴极荧光成像和光谱分析提供了灵活的接口。
F-CLUE的光谱仪模块结构紧凑稳固，可在不同环境安装。比如配备多种探测器的扫描电镜和/或恶劣的工业条件或极端状况（洁净室、移动实验室…）
与整个CLUE系列一样，F-CLUE的紧凑型设计及可收缩收集臂可与任何品牌的扫描电镜耦合，且不会对扫描电镜性能造成限制。
准确的可视化微调收集镜位置，优化收集效率，确保了CL测试性能以及重现性。
由Labspec 6功能庞大的软件组控制，R-CLUE具有独特的先进功能，可用于快速成像和光谱分析（KIA光谱数据库、SWIFT、宇宙线消除、峰值拟合、粒子探测器、拼图、多元分析、立体3D显示…）
灵活的解决方案，适合各类工作环境：
成像或高光谱CL
牢固的光纤接口
可选椭球或抛物镜，以适应不同需求
软件为LabSpec 6TM
全自动型光谱仪
可选RGB滤光
光谱范围 | UV-VIS 或 VIS-NIR 光纤耦合 |
金刚石切削收集镜 | 抛物镜 |
200 mm 伸缩臂 | 真空下马达微调 |
CL 成像探测器 | 标准: 全色光和单色光CL，室温 PMT |
CL 光谱仪类型 | microHR（焦长180mm）或iHR 320（焦长320mm）,多达 3 块光栅, 2入口/2出口 |
升级可行性 | 可在PL, MicOS系统上升级 |
电子束控制 | CL-LINK 控制多个采集过程 (模拟, 脉冲, SE), 线扫描成像, |
软件 | LabSpec 6™控制光谱仪和成像 |
远程控制器 | 可选 |
Clue 附件 | 偏振, ND 滤光片, 摄像机, EMCCD 等 |
SEM 附件 | 液氦/ 液氮制冷台, EBIC 探测器和其它可兼容 CLUE 系列的附件 |
阴极荧光光谱测定定位合成CVD金刚石薄膜中的荧光缺陷
利用高光谱阴极荧光光谱和成像技术对合成的CVD金刚石材料进行了表征，为新兴的固态量子力学系统提供了检测和准确定位潜在的NV荧光点缺陷的方法。在这项工作中，我们以金刚石为衬底蚀刻的微柱图案上进行CVD外延生长。阴极荧光（CL）分析显示NV色心成功地定位在柱的边缘。
用CL成像评价白光LED荧光粉
荧光粉在获得白光方面起着关键作用，特别是对于蓝色LED+荧光粉和近紫外LED+荧光粉。为了提高高亮度白光LED的荧光性能，必须使整个荧光粉颗粒均匀发荧光。当使用CL测量用作白色LED的荧光粉时，可以观察到荧光粉颗粒中不发荧光的区域。CL系统用于评估非荧光区域，以提高荧光效率和特性。
