阴极荧光（CL）是一种非破坏性分析技术，通过高能电子束（或称"阴极射线"）激发材料使其发光。扫描电子显微镜配置的 CL 探测器可作为生长工艺开发和器件加工过程中半导体材料表征的强大工具，并能够用于：
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HORIBA 提供单端口接口的阴极发光解决方案，兼容所有商用扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）系统。Horiba CLUE 系统具有 0.5 至 6eV 的宽发射能量范围、拉曼检测能力以及微米至纳米级空间分辨率，可分析多种半导体材料：第四族、II-VI 族、III-V 族、III 族氮化物、宽带隙材料（SiC）、二维材料、量子点、纳米线，以及光电子、光伏和 LED 器件。
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| F-CLUE | H-CLUE | R-CLUE | |
| 耦合 | 光纤 | 直接耦合 | 光纤 |
| 兼容性 | 所有扫描电子显微镜 | 所有扫描电子显微镜 | 所有扫描电子显微镜 |
| 采集系统 | 配备全自动伸缩机构的电动抛物面镜 | ||
| 自动化 | 全自动化 | ||
| 信号采集 | 成像阴极荧光光、光谱与高光谱阴极荧光、时间分辨阴极荧光 | 成像阴极荧光、光谱与高光谱阴极荧光、时间分辨阴极荧光、角度分辨阴极荧光 | 拉曼、光致发光、阴极荧光 |
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