PLATO-MicroScan

微区光致发光扫描成像系统

PLATO-MicroScan 是一款在 PLATO 系列平台上集成物镜的微区 PL 扫描成像系统。这款基于物镜的微区光致发光扫描成像系统测量能力可达 1μm 的空间分辨率，能够对 InP 等材料进行晶圆小尺寸缺陷检测。 同时，PLATO-MicroScan 可通过带隙测量和微观缺陷检测等项目帮助提升批量生产的质量，优化 MOCVD 工艺条件，修改 MQW 结构设计。

5× 物镜: 微区 PL 扫描成像和晶圆对准
10×/20×物镜: 微区 PL 扫描成像

事业部: 半导体
产品分类: 计量学

产品特点

• 微区 PL 扫描成像系统
• 空间分辨率: 1 μm
• 兼容2-8英寸晶圆，无需硬件改动
• 自动聚焦功能
• 通过 alignment key 进一步精细对准
• 5×物镜: 微区 PL 扫描成像和对准
• 10×/20×物镜: 微区 PL 扫描成像
• 可同时配置多达 4 个激发波长
• 激光波长可选: 532、785、 980、1064 nm

外观尺寸

Size: 62.19 MB
〈Catalog〉Metrology Solutions For Compound Semiconductor Wafer

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