PLATO 系列

全自动光致发光成像系统

产品特点

• 测量项目：峰值波长、峰值强度、积分强度、半峰宽（FWHM）、AlGaN 层中铝含量
• 厚度测量：GaN 层薄膜厚度
• 弯曲度测量（可选）
• 符合 SEMI 标准的晶圆：2”、3”、4”、150 mm、200 mm
• 符合 SEMI 标准的 300 mm 晶圆（可选）
• 可选激光波长：213 nm、266 nm、325 nm、375 nm、405 nm、532 nm、980 nm、1064 nm 等
• 自动对焦功能，可在不修改测量配置的情况下测量不同厚度的晶圆
• 支持 Excel、CSV 导出，格式灵活
• 兼容 SECS/GEM、MES
• 优秀的光致发光（PL）成像系统，全球销量超过 250 台（覆盖 9 个国家、63 位客户）