ellipsomètres spectroscopiques

La sophistication et la complexité des structures multicouches  développées dans différents domaines d'applications (électronique, optique, traitements de surfaces, etc.) nécessitent des outils de contrôle et de caractérisation non destructifs et d'une grande sensibilité. Pour répondre à ce besoin, HORIBA Scientific a développé et commercialise une large gamme d'ellipsomètres spectroscopiques. Ces produits, issus de collaborations avec des laboratoires prestigieux, sont utilisés dans des centres de recherche et sites de fabrication du monde entier.

Ellipsométrie Spectroscopique

  • Principe
    L'ellipsométrie spectroscopique est une technique optique basée sur la mesure du changement d'état de polarisation de la lumière suite à son intéraction avec un échantillon. La sensibilité de la technique permet de caractériser entièrement une surface, une couche mince ou une structure multicouche.

  •  
  • Informations obtenues

    • Epaisseur des couches de 1 Å à plusieurs dizaines de microns
    • Propriétés optiques (n,k), gap optique
    • Propriétés des matériaux : composition des alliages III-V et II-VI, porosité, cristallinité, anisotropie

  • Avantages

    • Technique non destructive
    • Grande sensibilité pour la mesure de couches ultra-minces
    • Haute résolution spatiale
    • Contrôle de croissance ou de gravure des couches, mesure cinétique rapide
    • Cartographie des couches
    • Ne nécessite aucune préparation d'échantillon
    • Facile d'utilisation

  • Technologie

    • Modulation de phase ou par cristaux liquides
    • Spectroscopique depuis l'UV lointain jusqu’au proche infrarouge
    • Ellipsomètres pour la recherche, le contrôle qualité et l'industrie
    • Configurations multiples avec de nombreux accessoires
    • Puissant logiciel pour l'acquisition, l'analyse des données et l'automatisation des opérations

  • Principales applications

    • Ecrans plats
    • TFT, LTPS, cristaux liquides
    • Plasma Display Panel
    • OLED
    • Polymères semiconducteurs,
    • électroluminescents
    • Ecrans souples

  • Nano et biotechnologies

    • Carbone nanotube
    • Matériaux nanocomposites
    • Biopuces
    • Fonctionnalisation de surface : SAM, LB
    • Protéines, ADN, lipides
    • Liquides

  • Dépôts optiques fonctionnels

    • Traitements anti-reflet, électrochrome, auto-nettoyant, protecteur, etc.
    • Miroirs
    • Filtres
    • Verres organiques et minéraux

  • Semiconducteurs

    • Transistor HEMT, MOSFET, OTFT, CMOS
    • Mémoire : PZT, BST
    • High k, low k
    • Lithographie
    • Stockage de données : GeSbTe, DLC

  • Optoélectronique

    • Diodes électroluminescentes et diodes laser
    • Guide d'onde : AsSeS, matériaux à gradient d'indice, silicium poreux oxydé
    • Matériaux pour l'IR, à propriétés optiques non linéaires LiNbO3

  • Photovoltaique - Energie solaire

    • Cellules solaires
    • Cellules photovoltaiques
    • Polymères semiconducteurs