超純水ユースポイントでの電気抵抗率（比抵抗）管理

半導体製造にかかせない超純水は、ユースポイントで必要な純度を担保するために18.20MΩ・cm以上のレベルの電気抵抗率（比抵抗）を測定する必要があります。しかし、電気抵抗率測定はサンプル温度の変化の影響を大きく受け、わずかな温度変化が超純水領域の正確な測定に大きな影響を与えてしまいます。

・サンプル温度が変化する際に測定影響が発生する

HORIBAの電気抵抗率計は高い分解能かつ温度追従性に優れた温度測定と、温度補償演算機能の組み合わせによりサンプル温度影響を受けにくい測定が可能です。