CS-620F

光ファイバ式熱リン酸濃度モニター

冷却不要で高温リン酸のリアルタイム測定が可能なリン酸濃度モニターです。

半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層※1エッチングプロセスで使用するリン酸の濃度管理に最適です。
※1 SiN層:シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜

 

薬液濃度

交流フリー電源(100~240V)伝送出力接点出力RS-485高温測定非接触

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高濃度・高温対応

循環ラインの高濃度(最大92%まで)・高温リン酸(140-170℃)を冷却せずダイレクトに測定できるため、冷却機構および冷却時間が不要です。

低コンタミネーションリスク

サンプル接続部にPFAを採用することで、コンタミネーションリスクを低減します。

フィードバック制御の高速化に

3秒ごとに測定データを更新するリアルタイム測定により、濃度フィードバック制御の高速化を実現しました。

装置ダウンタイムの低減

半年に一度のバックグラウンド補正周期の採用により、装置のダウンタイムの低減につながっています。

製品名薬液濃度モニタ
型式CS-620F
測定原理吸収分光法
濃度算出原理温度補償型多変量解析法
測定対象H3PO4/H2O
測定範囲・
再現性精度
 成分名測定範囲(mass%)再現性精度(mass%)アナログ出力範囲(mass%)
第1薬液H3PO485.00-92.00+/-0.1085.00-100.00
H2O8.0-15.0+/-0.30.0-15.0
・再現性精度は平均値からの最大誤差(1時間)で規定しています。
・同一薬液での薬液温度範囲(140-170 ℃)において最大 +/- 0.3 %の絶対指示値差が生じることがあります。
測定条件1) 測定間隔:約3秒
2) 移動平均:16回
接続継手サイズ1インチもしくは3/4インチ
測定液条件薬液温度:140-170 ℃
薬液温度変化、周囲温度変化±1℃以内(1時間)
入力圧力:0.2MPa以下
圧力変動:0.02MPa以下
流量: 1-30 L/min
計装エア(オペレーション、パージ兼用)取り合い: 外径4 mmクイック継ぎ手
圧力: 0.2 MPa ± 0.02 MPa
電源100-230 V AC(Single-Phase)、50/60 Hz
消費電力約85 VA( 起動時の過渡的電流は除く)
通信取り合いパラレルI/O、RS-232C、アナログ出力
外形寸法(モニタ本体) 200(W) X308(D) X78(H)mm(突起部を除く)
(光源ユニット) 200(W) X262(D) X100(H)mm(突起部を除く)
(サンプルセル) 240(W) X209(D) X205(H)mm(突起部を除く)
質量(モニタ本体) 約 3.6 kg
(光源ユニット) 約 2.8 kg
(サンプルセル)約 3.0 kg
設置温度(モニタ本体、光源ユニット共通) 20-30℃
(光ファイバ、サンプルセル) 20-100℃
※急激な室温変化なきこと、 ± 1 ℃以内/1時間
設置相対湿度40-70 %(結露なきこと)
設置傾き角度(モニタ本体、光源ユニット共通) ± 1°以内
(サンプルセル)気泡が滞らないようアップフローとなるよう設置してください
光ファイバ標準長さ5 m、最小曲げ半径150 mm

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