2.18
MB
〈カタログ〉半導体製造プロセス用 溶存酸素濃度モニタ HD-960LR
HD-960LR
半導体製造プロセス用 溶存酸素濃度モニタ
Front-end of Line - Back-end of LineまでのWet Processにおける溶存酸素濃度測定に最適。耐薬液センサの採用により、ファシリティからプロセスまでの溶存酸素濃度測定を幅広くサポート可能。
溶存酸素濃度モニタ最新モデル HD-960LR
※製品写真は左から
センサユニット：DO-120
ボトルユニット：DO-120-B
変換機ユニット：HD-960LR
従来モデルでは長寿命測定が固難であった、下記の薬液中の溶存酸素濃度の計測が可能に。
- アンモニア水 (1％）＠常温
- 沸点が水より高い有機溶媒
半導体プロセスで使用される薬液種の増加に対応し、重要な管理パラメータである溶存酸素濃度の管理を実現。
■ モデル比較
| 最新モデル | 従来モデル | ||
|---|---|---|---|
| 高流量・長寿命モデル | 高流量モデル（薬液を循環させる場合） | 低流量モデル（薬液を排出させる場合） | |
| 型式 | HD-960LR | HD-960L-M | HD-960L |
| センサユッニトサイズ | W170 (200 ) x H95 x D135 | W120 (150 ) x H95 x D108 | W87 (117 ) x H131 x D94 |
| 流量範囲 | 600 - 2000 ml / min（センサー膜厚25 µm) 400 - 2000 ml / min（センサー膜厚50 µm) | 200 - 2000 ml / min （センサー膜厚25 µm / 50 µm) | 15 - 200 ml / min （センサー膜厚25 µm / 50 µm) |
| 温度範囲 | 20- 60 ℃ | 20- 60 ℃ | 10- 45 ℃ |
| 圧力範囲 | 0 - 0.2 MPa | 0 - 0.2 MPa | 0 - 0.01 MPa |
| 応答速度 | 30 sec (90 %) @ 400 ml / min | 30 sec (90 %) @ 400 ml / min | 30 sec (90% ) @ 200 ml / min |
| 対象薬液 | アンモニア水(1%) ＠常温 沸点が水より高い有機溶媒 | 純水 低濃度HF(HF濃度5700ppm以下） | 純水 低濃度HF (HF濃度5700ppm以下） |
| 機器構成 | 変換器ユニット：HD-960LR センサユニット：DO-120 ボトルユニット：DO-120-B センサー：5622 接続ケーブル：CK-05PS (5m) 中継ケーブル：CK-01DO (1m) | 変換器ユニット：HD-960L-M センサユニット：DO-110 センサー：5611 接続ケーブル：CK-05PS (5m) | 変換器ユニット：HD-960L センサユニット：DO-100 センサー：5600 接続ケーブル：CK-05PS (5m) |
■測定データ（社内参考データ）
 | 測定条件▶ サンプル：アンモニア水 (28％)
測定結果従来モデルでは5日以内で測定指示値異常が
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 | 測定条件▶ サンプル：有機溶媒
測定結果従来モデルでは1か月以内で測定指示値異常が
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