AFM 是一種無損掃描技術，使用末端帶有鋒利尖端的懸臂掃描樣品表面。 AFM 是半導體製造製程步驟奈米級表徵的首選工具。 AFM 提供不同的模式來提供：

HORIBA 提供第一個 100% 自動化系統（AIST 技術），可用於研究傳統以及最先進的半導體材料的形貌、電氣和機械特性。其設計經過專門開發，能夠與光學光譜（SNOM、拉曼、光致發光和 TERS/SERS 技術）無縫整合。
 

	SmartSPM
Automated Adjustment	Fully motorized and software-controlled laser / cantilever and photodiode alignment.
Optical access for upgradeability	Possible coupling to optical spectroscopies (PL & Raman)
Sample scanning range	100 µm x 100 µm x 15 µm (±10 %)
Noise	< 0.1 nm RMS in XY dimension in 200 Hz bandwidth with capacitance sensors ON < 0.02 nm RMS in XY dimension in 100 Hz bandwidth with capacitance sensors OFF < 0.04 nm RMS Z in 1000 Hz bandwidth with capacitance sensors OFF