本研究提出一种综合分析方法，该方法采用氩氧混合气氛的辉光放电发射光谱（GD-OES），配合拉曼光谱与微区 X 射线荧光（XRF），实现对复杂有机 / 无机多层涂层的深度表征。氩氧混合气可让 GD-OES 实现均匀溅射，而拉曼光谱与 XRF 则可对溅射后暴露的界面进行无损表征与交叉验证。实验结果显示，溅射过程不会改变涂层的化学成分与结构，保证了深度剖析的可靠性。该联用方法为汽车涂层等高端应用提供了高可信度的分析手段，可广泛用于材料研发与质量控制。