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半导体的高分辨率低温PL测量

简介

温度相关光致发光 (PL) 光谱是表征材料的一种有效方法。PL可用于识别硅和III-V族半导体中的缺陷和杂质,以及确定半导体带隙。在室温下,PL发射谱通常很宽,可达100 nm。当样品冷却后,微细结构可能会被分解;两个样品之间的微小光谱偏移可能代表结构上的差异。通常使用的低温恒温器有两种类型:使用液氮或液氦的低温恒温器,或闭环低温恒温器,其中低温液体作为冷却系统的一部分被包括在其中。冷却的样品被激光激发,PL信号光通过光学接口被耦合进光谱仪。在本技术说明中,样本数据来自高分辨率PL测量系统。

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