不同气氛下ITO薄膜的光学特性

铟锡氧化物(ITO)是应用广泛的透明导电氧化物，它的主要特性是导电性和光学透明度，以及易于沉积成薄膜。与所有透明导电薄膜一样，必须在导电性和透明度之间做出妥协。因为增加厚度和增加载流子的浓度将增加材料的导电性，但透明度会降低。ITO通常用于制作透明导电涂层，用于液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸面板和电子墨水领域。ITO薄膜也被用于有机发光二极管、太阳能电池、抗静电涂层和电磁干扰屏蔽。在有机发光二极管中，ITO被用作阳极(空穴注入层)。ITO也被用于各种光学涂层，最显著的是用于汽车的红外反射涂层和钠蒸汽灯玻璃。其他用途包括气体传感器、减反射涂层和电介质的电润湿。