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镜面样品的多角度光谱椭偏分析：低入射角下光学特性的测定
如何预测光学镀膜在测量条件之外的性能?了解 HORIBA UVISEL PLUS 研究级经典型椭偏仪如何结合多角度光谱椭圆偏振仪和先进的光学建模技术，准确表征镜面镀膜，并预测其在未测量入射角下的光学行为。
要对光学镀膜进行可靠的表征，通常不仅需要在一个入射角下进行测量。在本应用说明中，利用 HORIBA UVISEL PLUS 研究级经典型椭偏仪，通过在 45°和 70°入射角下进行多角度测量，对带有保护镀膜的镜面样品进行了表征。
在 DeltaPsi2 中采用“绑定多模型”方法，通过共同的光学参数将不同角度下采集的数据关联起来，从而提高了模型的鲁棒性，并降低了参数之间的相关性。由此建立的光学模型不仅能够精确测定涂层厚度和光学常数，还能预测较小入射角（包括 10°）下的光学行为。
本研究展示了 UVISEL PLUS 如何结合先进的椭圆偏振测量技术与预测性光学建模，以支持高性能光学镀膜的开发与验证。
