含有金属和金属氧化物纳米颗粒薄膜的分析

薄膜中引入金属和金属氧化物纳米粒子以增加薄膜性能—耐腐蚀性、光电效应、抗菌活性等。
金属氧化物纳米颗粒因其独特性能被广泛用于制造复合材料。 如ZnO, Al₂O₃, ZrO₂, TiO₂, CeO₂等纳米颗粒，被用于各种金属和合金中生成具有优异性能的复合层。类似的，比如可以通过熔化的粉末混合物（聚乙烯中的钴合金）或通过干燥粉末树脂混合物（环氧树脂中的银颗粒）来制造嵌有金属纳米颗粒的聚合物薄膜。

HORIBA Scientific 是法国研究项目的合作伙伴，在同一个腔室中将纳米粒子喷雾耦合到 PVD 生长层上。许多关于这类新材料的研究都使用脉冲式射频 GD-OES 来分析颗粒的深度分布和复合层的厚度。