HE-960LF / FS-09F-1/2

フラットカーボンセンサ導電率計 

Slurry濃度管理に最適

Slurryの希釈具合を一定に保つために有効です。適切な導電率値に保つことで、ウェハ研磨工程のプロセス安定に貢献します。
粘性の高いサンプル液(CMP Slurry)であっても、電極にサンプル液が固着するリスクを軽減するセンサ構造を採用しています。
また、センサは耐薬品性に優れた接液材質で構成されているので、半導体プロセスでの洗浄度要求にマッチします。上記以外でも、半導体プロセス開発段階での導入や特殊薬液の導電率管理などにも活用可能です。

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高精度/高安定性

  • 測定レンジ:0~2,000μS/cm , 0~10,000μS/cm
  • 繰り返し性:±0.5% F/S , ±1.0% F/S

金属コンタミフリー

極材に採用しているのは特殊カーボンのため、金属コンタミ溶出の心配なし。

濃度換算機能搭載

薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで2種類の濃度変換が可能です。特に低濃度薬液の希釈管理には最適です。

省スペース化

弊社従来導電率センサからの小型化により、設置レイアウトの自由度が向上 。

設置例

■指示変換器

製品名導電率計
型式HE-960LF
測定方式2電極方式導電率測定
温度センサ仕様測温抵抗体 1000Ω(0℃のとき)
測定範囲セル定数0.1/cmのとき1.0/cmのとき
導電率計0.00~20.00μS/cm0.0~200.0μS/cm
0.0~200.0μS/cm0~2000μS/cm
0~1000μS/cm0~10000μS/cm
*温度補償する前の導電率の測定範囲設定変更によるレンジ切り替え
温度0~100℃ ただしセンサの仕様に準じる(少数点以下1桁、2桁選択表示可)
濃度変換任意1、20~10.000%(変換式をユーザーで設定)
繰り返し性セル定数0.1/cmのとき1.0/cmのとき
導電率0.00~20.00μS/cm range0.0~200.0μS/cm range±0.5%フルスケール以内
0.0~200.0μS/cm range0~2000μS/cm range
0~1000μS/cm range0~10000μS/cm range±1.0%フルスケール以内
温度±0.5℃以内
条件等価入力にて
直線性セル定数0.1/cmのとき1.0/cmのとき 
導電率0.00~20.00μS/cm range0.0~200.0μS/cm range±0.5%フルスケール以内
0.0~200.0μS/cm range0~2000μS/cm range
0~1000μS/cm range0~10000μS/cm range±1.0%フルスケール以内
温度±0.5℃以内
任意濃度等価入力にて
伝送出力出力点数:4点
  DC4~20mA/0~20mA 入出力絶縁形
  最大負荷抵抗:900Ω
  伝送出力レンジ:測定範囲内で任意設定可
  (各伝送出力のマイナス端子は内部で接続されており同電位です)
接点出力出力点数:5点
  警報接点出力(R1~R4)
  接点形態:リレー接点、SPST(1a)
  接点容量:AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A (抵抗負荷)
  接点機能:各測定対象の上、下限動作(ON/OFF制御)、遅延時間
  接点動作:動作時間、通常時(電源断含む)開
  (但しR1、R2、R3は接点COMMON共通)
  警報接点形態:リレー接点、SPST(1c)
  接点容量:AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A (抵抗負荷)
  接点機能:エラー、異常警報、保守中より選択設定
  接点動作:C-NO間を用いる場合、正常時閉、異常時(電源断含む)開
 (C-NC間の場合は接点状態が逆になります)
 (但しR4、RFは接点COMMON共通)
接点入力入力点数:1点
入力形態:オープンコレクタ無電圧a接点
接点機能:伝送出力ホールド
通信出力RS-485入出力
校正機能導電率セル定数の補正係数入力による(パラメータ入力)
温度基準温度計との比較校正
伝送出力ホールド機能直前値ホールド、任意値ホールドより選択設定
(但しメンテナンスモードでは、直前値ホールドになります)
自己診断機能センサ診断(温度センサ短絡、温度センサ断線)変換器異常
導電率温度補償●任意の温度係数入力(基準温度:5~95℃、温度係数:0~5%/℃
●任意の温度補償式入力(補償式をユーザで設定)
●温度補償しない
温度補償範囲0~100℃(ただし0℃以下、100℃以上は延長して演算)
周囲温度5~45℃
相対温度-25~65℃
電源定格電圧 DC24 V 10 W (max)
構造パネル取付け屋内設置型
パネルケース:ABS、端子部:PBT
パネル部防滴構造
適合規格CEマーキングEMC指令 : EN61326-1
FCC規制FCC Part15
質量約550g
外形寸法96 (W) × 96 (H) × 115 (D) mm
ケース奥行:約 105mm (パネルマウント時)
適合センサFS-09F-1/2

■センサ

形式FS-09F-1/2FS-09F-1/2-200
液絡材質ガラスカーボン PFA  カルレッツ®
配管サイズ1/2 インチ
サンプル流量0~10L/min
流量影響はありませんが、サンプル液や温度置換に必要な流量の確保が必要です。
サンプル圧力0~0.3MPa ただし20~30℃
サンプル温度20~30℃
周囲温度と液温の差が5℃の場合、1℃程度の測定誤差が生じます。
ケーブル長約3.5m

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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