HF-960M

Low Concentration Type HF/HCl/NH3 Concentration Monitor HF-960M

低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

半導体洗浄プロセスではデバイスの進化・微細化に伴い、RCA洗浄の薬液も低濃度でのコントロールが要求されています。
HF-960Mは耐食性に優れたセンサを採用し、低濃度のフッ酸、塩酸、アンモニアをそれぞれ高速に測定しますので、ワンバス洗浄や枚葉洗浄にも最適な製品です。

 

事業セグメント: 半導体
製品分類: Wet Process Control
製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

 

  • HF濃度、HCl濃度、NH3濃度、導電率、温度の5種類を測定
  • アナログ出力を濃度測定範囲で任意設定可能
  • 接点出力点数7点装備
  • 3系統の伝送出力を搭載

 

 

 

製品名低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ
型名HF-960M
周囲温度−5〜45℃
相対湿度20〜85%(結露しないこと)
保存温度−25〜65℃
電源定格電圧 24V DC 10W(max)
外形寸法96(W)×96(H)×115(D) ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)
質量約550g
適合規格CEマーキング、FCC Part15

 

外形寸法図・他(単位:mm)

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