颗粒分析

半导体制造过程中的颗粒综合检测

对于使用最先进微制造技术的半导体生产工艺，质量管理问题至关重要。

经常检查颗粒污染的存在是很重要的。通过利用先进的分析技术，HORIBA为半导体制造商提供具有成本效益的前沿颗粒检测解决方案。